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연합인증

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Cu-MOCVD Mechanism에 관한 연구
Research about Cu-MOCVD Mechanism 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 민석기
참여연구자 김용태 , 김성일 , 권철순 , 김동준 , 이호녕 , 곽성관 , 최원철 , 손창식 , 김창주 , 윤형식 , 박상규 , 윤종호 , 오동진
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1995-10
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200009113
DB 구축일자 2013-04-18

초록

목차 Contents

  • 제 1 장 서 론...23
  • 제 2 장 Cu-MOCVD 장치...33
  • 제 1 절 Cu-MOCVD 장치 및 최적화...33
  • 제 2 절 기판온도 보정...44
  • 제 3 장 반응기 및 구리박막 증착에 대한 전산모사 (computer simulation)...51
  • 제 1 절 MOCVD 장치 전산모사...51
  • 제 2 절 구리박막 증착에 대한 전산모사...53
  • 제 4 장 구리박막의 증착 및 특성평가...67
  • 제 1 절 구리박막의 전기적, 물리적 특성연구...67
  • 제 2 절 기판에 따른 구리박막의 증착특성 연구...88
  • 제 5 장 확산방지막 연구...115
  • 제 1 절 기존의 확산방지막 평가...115
  • 제 2 절 새로운 확산방지막 연구...126
  • 제 6 장 결론...159
  • 참고문헌...171
  • 부록...183

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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