[보고서]Metal-MOCVD에 관한 연구

김상호

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Metal-MOCVD에 관한 연구 원문보기

보고서 정보
주관연구기관	아펙스(주) 부설 연구소
연구책임자	김상호
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	1994-11
주관부처	과학기술부
사업 관리 기관	아펙스(주) 부설 연구소
등록번호	TRKO200200009844
DB 구축일자	2013-04-18

초록

목차 Contents

제1장 서론...22
제2장 ULSI 응용에서의 급속배선...28
제1절 유기증착 장치...29
제2절 장치...38
제3절 증착 공정...42
제3장 원시형 금속 유기 화학증착 장치의 제작...47
제1절 장비의 개요...47
제2절 반응로...48
제3절 진공배기계...50
제4절 원료 공급계...54
제5절 장비의 성능 시험...56
제4장 MESC 표준...75
제1절 기계적 접속의 표준...75
제2절 응용노트...83
제3절 Software 개요...87
제5장 결론...96

참고문헌 (25)

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원문 보기

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과제요약정보
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