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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 김승우 |
참여연구자 | 민선규 , 공인복 , 이형석 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-09 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO200200053721 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
본 연구의 최종목표는 다음과 같다.1) 광위상간섭측정원리를 위한 기초기술의 정립 광위상간섭측정원리를 이용하여 광학식 측정이론의 기초를 정립하였으며 이를 토대로 측정시스템의 설계와 제작을 완료하였다.2) 광위상간섭 형상 측정시스템을 위한 광전자시스템 설계 기술 광위상간섭 형상 측정을 위한 광전자적 시스템에 대한 제반 연구와 광학시스템의 설계기술이 확보되었다.3) 간섭무늬해석을 위한 영상처리 기술 및 보정 측정시스템으로부터 얻어진 간섭무늬의 해석을 위한 영상처리알고리듬을 개발하였으며 측정결과의 보정을 수행하였다.4) 구면/비구면
The scopes of the research work are summarized as :1) Feasibility study appplication of the principle of phase measuring interferometry for the measurement of surface profile machined with an accuracy of 1㎚.2) Design of the necessary hardware of optical and electronic systems to realize the PMI prin
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