초록 ▼

본 연구의 최종목표는 다음과 같다.1) 광위상간섭측정원리를 위한 기초기술의 정립 광위상간섭측정원리를 이용하여 광학식 측정이론의 기초를 정립하였으며 이를 토대로 측정시스템의 설계와 제작을 완료하였다.2) 광위상간섭 형상 측정시스템을 위한 광전자시스템 설계 기술 광위상간섭 형상 측정을 위한 광전자적 시스템에 대한 제반 연구와 광학시스템의 설계기술이 확보되었다.3) 간섭무늬해석을 위한 영상처리 기술 및 보정 측정시스템으로부터 얻어진 간섭무늬의 해석을 위한 영상처리알고리듬을 개발하였으며 측정결과의 보정을 수행하였다.4) 구면/비구면

본 연구의 최종목표는 다음과 같다.1) 광위상간섭측정원리를 위한 기초기술의 정립 광위상간섭측정원리를 이용하여 광학식 측정이론의 기초를 정립하였으며 이를 토대로 측정시스템의 설계와 제작을 완료하였다.2) 광위상간섭 형상 측정시스템을 위한 광전자시스템 설계 기술 광위상간섭 형상 측정을 위한 광전자적 시스템에 대한 제반 연구와 광학시스템의 설계기술이 확보되었다.3) 간섭무늬해석을 위한 영상처리 기술 및 보정 측정시스템으로부터 얻어진 간섭무늬의 해석을 위한 영상처리알고리듬을 개발하였으며 측정결과의 보정을 수행하였다.4) 구면/비구면 형상 정밀도 측정을 위한 응용기술본 연구에서 제안된 측정 방법에 의해 목표로 하는 측정성능은 다음과 같다.1) 표면조도 : 1㎚ Ra까지2) 높이 분해능 : 1㎚

Abstract ▼

The scopes of the research work are summarized as :1) Feasibility study appplication of the principle of phase measuring interferometry for the measurement of surface profile machined with an accuracy of 1㎚.2) Design of the necessary hardware of optical and electronic systems to realize the PMI prin

The scopes of the research work are summarized as :1) Feasibility study appplication of the principle of phase measuring interferometry for the measurement of surface profile machined with an accuracy of 1㎚.2) Design of the necessary hardware of optical and electronic systems to realize the PMI principle.3) Development of the software for analysis of the fringe formed by the phase measuring principle and calibration.4) Measurement of the form accuracy for the spherical and aspherical surface.

목차 Contents

• 제 1 장. 서 론...15
• 1.1 연구동기...15
• 1.2 연구 현황...16
• 1.3 연구 목표 및 내용...17
• 제 2 장. 기본 측정 원리...18
• 2.1 기초 이론...18
• 2.1.1 위상측정방법...21
• 2.2 측정 한계...25
• 2.3 측정분해능...28
• 2.4 간섭계의 종류...28
• 2.5 계산결과의 보정...30
• 제 3 장. 간섭무늬의 해석 및 노이즈 추출...32
• 3.1 해석개요...32
• 3.2 페이즈 언래팽...33
• 3.3 측정영역의 결정...35
• 3.4 노이즈 영역의 추출...35
• 3.4.1 측정데이타가 갖추어야 할 조건...35
• 3.4.2 고립점의 분포형상...40
• 3.4.3 고립점과 그 연결선의 추출...43
• 3.4.3.1 고립점의 체킹...43
• 3.4.3.2 고립점들 사이의 연결상태 체킹...44
• 제 4 장. 측정시스템의 구성...45
• 4.1 광학 시스템...45
• 4.1.1 레이저 발생부...45
• 4.1.2 간섭부...46
• 4.1.3 PZT 트랜스듀서...46
• 4.1.4 위상 측정 장치(Signal decoder)...47
• 4.1.5 방진테이블...48
• 4.2 디지탈 데이타 처리...48
• 제 5 장. 실 험...50
• 5.1 실험...50
• 5.2 토의...50
• 제 6 장. 결론 및 향후 과제...54
• 6.1 결론...54
• 6.1.1 측정 원리의 제시 및 측정 시스템 설계 및 제작...54
• 6.1.2 간섭 무늬 영상 처리 해석...54
• 6.1.3 실 험...55
• 6.2 향후 과제...55
• 6.2.1 실험장치...55
• 6.2.2 알고리듬...56
• 7. 참고문헌...57