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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 송정식 |
참여연구자 | 이행우 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-02 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO200200054864 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
가. 최종 개발 목표1) 다이아몬드 박막율 ZnS 또는 ZnSe의 표면에 제작2) 다이아몬드 박막의 ZnS 또는 ZnSe의 표면에의 접착성을 향상시키기 위한 박막성장의 최적 조건 결정3) 접착성을 향상시키기 위한 표면처리 결정나. 당해년도 개발 목표1) 문헌및 해외 기술 조사2) 선진 샘플 입수 추진3) 다이아몬드 박막 제작을 위한 - 장비의 설계 - 업체 개발 - 장비의 설치4) 다이아몬드 박막을 실리콘 기판 위에 시제작
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