초록 ▼

(1) Magnetron 설계·제작 및 특성 연구 - Electron Cycloidal Motion을 위한 자석의 이론연구 및 자석특성 설계 - 분극을 위한 고투자율의 순철 ground shield 채택 - 음극상의 자기강도 및 분포도 측정 - 자기강도와 증착속도 및 증착균일도와의 상관관계 조사 - 증착변수들과의 상관관계 조사 (RF 전력, DC self-bias 전압, 증착압력 등)(2) Magnetron PECVD 법에 의한 DLC 박막 합성과 특성 연구 - Ge 기판과 DLC 박막의 전처리 연구 - 증착박막의 두께

(1) Magnetron 설계·제작 및 특성 연구 - Electron Cycloidal Motion을 위한 자석의 이론연구 및 자석특성 설계 - 분극을 위한 고투자율의 순철 ground shield 채택 - 음극상의 자기강도 및 분포도 측정 - 자기강도와 증착속도 및 증착균일도와의 상관관계 조사 - 증착변수들과의 상관관계 조사 (RF 전력, DC self-bias 전압, 증착압력 등)(2) Magnetron PECVD 법에 의한 DLC 박막 합성과 특성 연구 - Ge 기판과 DLC 박막의 전처리 연구 - 증착박막의 두께 균일도 - 증착조건에 따른 박막특성 연구 (구조적, 기계적, 광학적) - 증착조건과 박막특성의 관계 - DLC 박막의 광투과성(TAVG≥93% : 8.0~11.5 ㎛ wavelength range, MIL-F-48616/101) - 환경에 따른 내구성 시험(환경시험기준 : MIL-F-48616, MIL-C-675)

목차 Contents

• 제 1 장 서 론...11
• 제 2 장 이론 및 문헌적인 배경...13
• 2-1. 플라즈마의 정의와 일반특성...13
• 2-2. R.F. 방전의 특징...16
• 2-3. CH₄플라즈마 중의 반응기구...19
• 2-4. DLC 박막의 증착방법...27
• 제 3 장 RF Magnetron PECVD 장치의 성능평가...35
• 3-1. RF Magnetron의 설계ㆍ제작...35
• 3-1-1. Magnetron 플라즈마의 발생 원리와 성질...35
• 3-1-2. 반응실...44
• 3-1-3. RF 공급장치...44
• 3-1-4. 기판가열장치...45
• 3-1-5. 반응가스 공급장치...45
• 3-1-6. 진공펌프...45
• 3-2. DLC 박막 증착실험...46
• 제 4 장 실험결과 및 고찰...49
• 4-1. 최적조건 규명을 위한 DLC 박막 증착 실험...49
• 4-2. DLC 박막의 증착특성...49
• 4-2-1. 증착속도...49
• 4-2-2. 증착막의 물질동정 (FTIR 및 Raman 분석)...51
• 4-2-3. 광투과율(%T) 측정...54
• 4-2-4. 내구성 시험평가(MIL-F-48616)...55
• 4-2-5. 시제품 제작...57
• 제 5 장. 결론...63
• 참고문헌...65