최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
---|---|
연구책임자 | 김성녕 |
참여연구자 | 이상현 , 김성화 , 유광림 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1998-07 |
주관부처 | 국무조정실 |
사업 관리 기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO200200055472 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
(1) Magnetron 설계·제작 및 특성 연구 - Electron Cycloidal Motion을 위한 자석의 이론연구 및 자석특성 설계 - 분극을 위한 고투자율의 순철 ground shield 채택 - 음극상의 자기강도 및 분포도 측정 - 자기강도와 증착속도 및 증착균일도와의 상관관계 조사 - 증착변수들과의 상관관계 조사 (RF 전력, DC self-bias 전압, 증착압력 등)(2) Magnetron PECVD 법에 의한 DLC 박막 합성과 특성 연구 - Ge 기판과 DLC 박막의 전처리 연구 - 증착박막의 두께
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.