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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 송정식 |
참여연구자 | 송영식 , 원호연 , 이행우 , 김상근 , 최윤 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1996-12 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO200200056789 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | DLC.IR.ZnS.Ge.GeC.버퍼층.투과도.CO₂laser. |
(1) 1차년도 · 코팅 장비 제작 · 다이아몬드 박막 시제작(2) 2차년도 · 유도결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드 박막 제작 · 용량결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드성 탄소막 제조(3) 3차년도 · 보호막 증착 공정 확립 · 보호막과 기판 사이에 접착력 증대를 위한 버퍼층의 결정 · 보호막과 버퍼층의 굴절률을 고려한 무반사 코팅 공정 확립 · 보호막의 최종 성능 특성 평가
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