최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울시립대학교 University Of Seoul |
---|---|
연구책임자 | 정재필 |
참여연구자 | 김문일 , 신규식 , 박지호 , 문준권 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2001-12 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 서울시립대학교 University Of Seoul |
등록번호 | TRKO200300000560 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 연구목표 : MEMS(Micro Electro Mec anical S stem)용 Si-wafer/Glass, Si-wafer/Cu의 무플럭스 micro-soldering 기술개발
2. 연구내용 :
(1) 무플럭스 솔더링 재료의 최적화- Sn계 micro-bump의 크기 및 성분 제어- Wafer 등 substrate상의 Au박막(500nm) 코팅- Dry Plasma Cleaning법에 의한 solder bump와 substrate의 산화막 제거- Dry Plasma Cleaning법의 물리화학적 기구 규명
Indispensable tech. for micro-electronics and machine
1. Application of fluxless soldering- MEMS (world market : $ 100 billion/year)- Hard disk driver, cellular phone, IC card, LCD, supercomputer
2. maximizing research effects thru collaboration- UK : Abundant basic tech. for plasma cleaning &
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.