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[국가R&D연구보고서] 전력용반도체 기술개발;SOC용 4,500V급 IGCT 소자 개발
Development of Power Semiconductor Devices;Development of 4.5V IGCT Divices for Social Objective Capital 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-10
주관부처 과학기술부
Ministry of Science and Technology
연구관리전문기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
등록번호 TRKO200400000994
DB 구축일자 2013-04-18
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO200400000994

초록

4.5kV급 IGCT 소자 시작품 제작을 위해 simulation을 통한 소자 최적설계, 각각의 단위공정조건 실험을 통한 일괄공정 조건 확보 그리고 최종적으로 4.5kV급 소자 시작품 제작을 목표로 차석 관련기술개발에 중점을 두었다.
구체적으로는 해석적인 방법에 의해 소자 설계를 위한 기본 파라메터를 결정하고, 상용 simulation software를 이용하여 공정 및 소자 특성 simulation을 수행하고, 얻어진 simulation 결과를 바탕으로 단위공정 실험을 수행하여 각 공정별 공정 조건을 확보했으며 최종적으로

Abstract

The final purpose of our research work was to design and fabricate 4.5kV /l.5kA Integrate Gate-Commutated Thyristor(IGCT) focusing on the novel device and driving unit design and process technology. The specific contents of our research are as follows;
1. Design parameter for device using analyti

목차 Contents

  • 제 1 장 연구개발과제의 개요...13
  • 제 1 절 연구개발의 목적...13
  • 제 2 절 연구개발의 필요성 및 중요성...16
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황...19
  • 제 1 절 해외연구동향...19
  • 제 2 절 국내연구동향...22
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...26
  • 제 1 절 서론...26
  • 제 2 절 IGCT 소자설계...35
  • 제 3 절 소자제작을 위한 단위공정 실험...79
  • 제 4 절 패턴 마스크 설계 및 제작...102
  • 제 5 절 패키지 설계 및 제작...110
  • 제 6 절 게이트 구동 Unit 분석 및 제작...121
  • 제 7 절 완성소자 특성평가...162
  • 제 8 절 결론...167
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...169
  • 제 1 절 년도별 연구목표 및 내용...169
  • 제 2 절 년도별 연구개발 목표 및 달성도...170
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...179
  • 제 1 절 타 연구에의 응용 및 기업화 추진방안...179
  • 제 2 절 추가연구의 필요성...181
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...186
  • 제 1 절 중국 전력반도체 관련 연구 동향...186
  • 제 2 절 각국의 전력반도체 생산업체 및 생산소자 현황...189
  • 제 7 장 참고문헌...193

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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