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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국지질자원연구원 Korea Institute of Geoscience and Mineral Resources |
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연구책임자 | 우형주 |
참여연구자 | 최우범 , 배영호 , 최한우 , 김준곤 , 홍완 , 최승우 , 서상원 , 도현정 , 박형진 , 김도묵 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-07 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200500066841 |
과제고유번호 | 1350004660 |
사업명 | 원자력연구개발사업(양성자기반공학기술개발) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 표준 SOI 웨이퍼 제조공정개발
1. Development of standard SOI wafers fabrication technique
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