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NTIS 바로가기주관연구기관 | 나노시스템(주) |
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연구책임자 | 이형석 |
참여연구자 | 김창규 , 김명균 , 박정우 , 김호환 , 노진태 , 한상현 , 신웅찬 , 박태혁 , 김기홍 , 최준혁 , 최대근 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-05 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 과학기술부 |
연구관리전문기관 | 연구개발특구지원본부 |
등록번호 | TRKO200800006169 |
과제고유번호 | 1355052417 |
사업명 | 대덕R&D특구육성 |
DB 구축일자 | 2014-09-20 |
키워드 | 엘시디.광간섭.측정.박막.두께 형상.LCD.Interferometry.Measurement.Thin Film.Thickness Profile. |
본 과제의 결과물인 대형 LCD 판넬의 셀 미세구조 측정시스템은 고속측정, 대형스테이지, 복수 프로브제어 측정시스템으로서 LCD판넬 셀의 미세구조에 대하여 광간섭 기술에 기반을 둔 3차원 다층레이어의 두께 및 형상의 측정/분석 기술의 확보와 실용화를 달성하였음.
주요 연구 성과
- Linear Motor와 0.1um분해능의 Linear Scale을 채용한 고속
저진동 Dual Gantry 구조의 대형 LCD 측정 스테이지 개발
- 고속 프로부 스캐닝 메카니즘 및 자동초점시스템 개발
- 스테이지 제어용 P
This project is for "Development of Measuring System for Analyzing Cell Structures of LCD Panels". Recently, the demands for reducing process steps to cut off costs are increasing. For this one, 3 masks patterning and ink jet technology are drawing engineer`s interests. These processes are tested du
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