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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광주과학기술원 Gwangju Institute of Science and Technology |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-09 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201600009864 |
과제고유번호 | 1345226633 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2016-10-08 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201600009864 |
본 연구의 최종 목표는 반도체 공정,NT,BT등의 기술분야에서 나노급 초정밀 위치제어와 연속제어가 가능한 초정밀 2축 초음파 리니어 모터 시스템을 개발하는 것이다. 연구개발을 통해 위치제어의 경우 5nm급의 정밀도를 가지고 연속제어의 경우 100nm 이하의 Motion Error를 가진 스테이지 시스템을 구성하고,정밀 구동회로 구성, 고진공 환경 중 구동 확립, 정밀 광학 소자를 이용한 스테이지 측정 및 제어를 통해 고진공 환경에서 사용가능한 차세대 초정밀급 스테이지를 개발하는 것이 최종목표이다.
본 연구에서는 고속 고정밀도를
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