최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | LG전자기술원 |
---|---|
연구책임자 | 남효진 |
참여연구자 | 김동천 , 이돈희 , 조성문 , 김영식 , 이헌민 , 박재영 , 이영주 , 김화년 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2002-11 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200800067362 |
사업명 | 특정연구개발사업<국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 유전체 박막.미세가공기술.압전력.PZT.캔틸레버.미소거울.Dielectric film.Micromachining.Piezoelectric.PZT.Cantilever.Micromirror. |
본 연구는 유전체 박막 응용한 MEMS (Microelectromechanical System) 소자에 관한 것으로 유전체박막 공정 기술, 미세가공 기술 등의 단위공정 기술을 확립하였고 이를 집적화 기술과 결합하여 고성능, 신긴으 MEMS 소자를 개발할 수 잇었다.
This research covers MEMS device using ferroelectric thin films, and develops MEMS device by integrating and improving various technologies, such as ferroelectric thin film fabrication technique, micromachining, analysis and measurement techniques.
o Unit fabrication process
In order to use PZ
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.