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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 이승섭 |
참여연구자 | 권태헌 , 장석상 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-12 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200800067448 |
과제고유번호 | 1350022171 |
사업명 | 목적기초연구사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 멤스.높은 고폭비 3D 미세 구조물.X-선 노광.리가.리가유사.대면적 및 수정 리가.UV 경사노광.마이크로 금형.핫 엠보싱.V-groove 렌즈.니들..MEMS.High Aspect Ratio 3D Microstructures.X-ray lithography.LIGA.LIGA-like.Large area & Modified LIGA.Inclined UV Lithography.Micromold.Hot Embossing.V-groove.Needle.Lense. |
LIGA & LIGA-like 공정에 대한 복합공정 및 그를 이용한 응용연구
4년간의 연구기간 동안 LIGA 및 LIGA-like 공정의 학제간 공동연구의 필요성으로 인해, 초기에는 MEMS 연구진, 방사광가속기 연구진, 사출성형 연구진이 공동으로 연구를 수행하였으며, 방사광 X-선 공정이 확립된 후반기에는 MEMS 연구진과 사출성형 연구진의 공동연구로 연구역량을 집중하였다. 연구내용은 기반공정 연구와 응용연구로 구분되어지며 다음과 같이 기술된다.
기반공정 연구
연구초반에 집중적으로 수행되었으나, 대면적 X-선 노광
Complex process research of LIGA and LIGA-like process
Interdisciplinary group of MEMS, synchrotron, and micro-injection molding started the research in the beginning period of 4 years of research period. After the establishment of synchrotron X-ray lithography process, the MEMS and injection mol
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