초록 ▼

LIGA & LIGA-like 공정에 대한 복합공정 및 그를 이용한 응용연구
4년간의 연구기간 동안 LIGA 및 LIGA-like 공정의 학제간 공동연구의 필요성으로 인해, 초기에는 MEMS 연구진, 방사광가속기 연구진, 사출성형 연구진이 공동으로 연구를 수행하였으며, 방사광 X-선 공정이 확립된 후반기에는 MEMS 연구진과 사출성형 연구진의 공동연구로 연구역량을 집중하였다. 연구내용은 기반공정 연구와 응용연구로 구분되어지며 다음과 같이 기술된다.
기반공정 연구
연구초반에 집중적으로 수행되었으나, 대면적 X-선 노광

LIGA & LIGA-like 공정에 대한 복합공정 및 그를 이용한 응용연구
4년간의 연구기간 동안 LIGA 및 LIGA-like 공정의 학제간 공동연구의 필요성으로 인해, 초기에는 MEMS 연구진, 방사광가속기 연구진, 사출성형 연구진이 공동으로 연구를 수행하였으며, 방사광 X-선 공정이 확립된 후반기에는 MEMS 연구진과 사출성형 연구진의 공동연구로 연구역량을 집중하였다. 연구내용은 기반공정 연구와 응용연구로 구분되어지며 다음과 같이 기술된다.
기반공정 연구
연구초반에 집중적으로 수행되었으나, 대면적 X-선 노광, Modified LIGA 공정, 액튜에이터 내장형 X-선 공정과 같은 것은 후반기에도 수행되었다.
- 방사광 X-선 노광 시뮬에이션 프로그램 완성‘
- X-선 마스크 설계/제작, 방사광 X-선 노광 공정 확립
- Ni 전기도금 공정 확립
- 핫엔보싱 장비 설계/제작 및 공정 확립
- UV 경사 및 회전 노광 공정 개발
- Modified LIGA 공정 개발
- 초소형 액튜에이터 내장형 X-선 마스크 공정 개발
응용 연구
기반공정을 기반으로 다양한 응용연구를 수행하였으며, 기술하면 다음과 같다.
- 레이져 광반사용 초소형 사면체
- 초소형 액튜에이터 내장형 X-선 마스크
- Modified LIGA 공정을 마이크로 렌즈 어레이
- X-선 경사공정을 이용한 초소형 니들 어레이
- 수은 방울 경사각 센서
- SU-8을 이용한 초소형 열유속 센서
- TFT-LCD 도광판 응용 초소형 V-groove
X-선 마스크 제작, 방사광 X-선 노광, Ni 전기도금, 핫 엔보싱까지의 전 공정에 대한 공정 데이터가 확보되어 보고서와 논문으로 공개되었다. 이를 통한 다양한 추가 연구가 기대된다. 다양한 응용 연구 결과는 논문과 특허를 통해 지적재산으로 활용되리라 믿어진다. (예, Modified LIGA 공정을 이용한 마이크로 렌즈는 현재 5개국에 국제특허 출원 중에 있으며, 초소형 액튜에이터 내장형 X-선 마스크는 미국에 특허 등록되었고, 마이크로 니들은 삼성 휴먼텍에서 금상을 수상한 바있다.)

Abstract ▼

Complex process research of LIGA and LIGA-like process
Interdisciplinary group of MEMS, synchrotron, and micro-injection molding started the research in the beginning period of 4 years of research period. After the establishment of synchrotron X-ray lithography process, the MEMS and injection mol

Complex process research of LIGA and LIGA-like process
Interdisciplinary group of MEMS, synchrotron, and micro-injection molding started the research in the beginning period of 4 years of research period. After the establishment of synchrotron X-ray lithography process, the MEMS and injection molding processes are concentrated for developing modified HAR-MEMS (High Asepct Ratio MEMS) processes and applications. The content of research is listed in two parts ; process development and application research.
Process Development
Most of process development had been done in the first two years, however large X-ray process, modified LIGA process, embedded X-ray process has been done to the end of research period.
- Synchrotron X-ray Lithography simulation
- X-ray mask design/fabrication process, X-ray lithography
- Ni electroplating Process
- Inclined/Rotating UVProcess
- Micro Actuator Embedded X-ray Mask Process
Applications
Based on the process development, several applications have been done as follows
- tetrahedral-facet micro mirror for laser reflector
- micro actuator embedded X-ray mask
- Micro lenses array with modified LIGA process
- Micro needle array with inclined X-ray deep lithography
- Hg deoplet angle sensor
- Heat flux sensor with SU-8 LIGA-like process
- Micro V-groove for TFT-LCD light guide plate
All of the process of LIGA which includes X-ray mask fabrication, deep X-ray lithography, Ni electroplating, and hot embossing plastic process have been established and open to public through the report and thesis for further research of other researchers. The several application results would be used as intellectual properties.

목차 Contents

• I. 연구결과 요약문...3
• 1. 국문요약문...3
• 2. 영문요약문...4
• II. 연구내용...5
• 1. 서 론...5
• 1.1 연구배경...5
• 1.1.1 국내외 연구동향...5
• 1.1.2. 연구의 필요성...8
• 1.2 연구목표 및 내용...13
• 1.2.1 최종 연구목표 및 연구내용...13
• 1.2.2 년차별 연구목표 및 연구내용...14
• 1.3 연구수행 방법...15
• 1.3.1 연구접근방법...15
• 1.3.2 역할 분담 방안...17
• 2. 본 론...18
• 2.1 1차년도 연구 결과...18
• 2.1.1 연구목적, 내용 및 방법...18
• 2.1.2 연구결과 및 차년도 연구계획...19
• 2.2 2차년도 연구 결과 ...28
• 2.2.1 연구목적, 내용 및 방법 ...28
• 2.2.2. 연구결과...29
• 2.3 3차년도 연구 결과...50
• 2.3.1 연구목적, 내용 및 방법...50
• 2.3.2 연구결과...51
• 2.4 4차년도 연구 결과...60
• 2.4.1 연구목적, 내용 및 방법...60
• 3. 결 론...90