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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)테스 |
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연구책임자 | 박근오 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-07 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800040192 |
과제고유번호 | 1711041016 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-10-13 |
키워드 | 3D 낸드 플래시.하드마스크.고내식각성.나노혼합구조.에싱. |
핵심기술
◦ 고선택비를 갖는 Ashable 하드마스크 공정 및 장비 개발
◦ 다양한 나노 구조의 박막 증착을 위한 양산용 공정 제어기술 개발
최종목표
3D NAND 공정 적용이 가능한 고선택비를 갖는
Ashable 하드마스크 증착 재료 및 증착 장비 개발
개발내용 및 결과
◦ 개발내용
1) 고성능 Process module 설계 및 제작 기술
2) 차세대 Precursor 합성 및 제작, 적용 기술
3) 고생산성 Transfer Module, EFEM 설계 및 제
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