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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 재료공학과 |
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연구책임자 | 이내응 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-12 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900070830 |
사업명 | 기초과학연구사업>과학자교류 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
- 도착 후 본 연구자 연구실에서 수행하고 있는 연구과제 내용에 대한 세미나를 통하여 상호 관심사에 대하여 논의 하였다. 또한 매주 방문연구실의 세미나에 참석하여 연구내용에 대한 상호 논의를 지속적으로 하였다. 본 연구자의 경우 주로 플라즈마 공정(에칭, 증착, 표면처리) 연구를 주로 수행하고 있는데 비하여 방문연구실의 경우 플라즈마 기초연구를 중점적으로 수행하므로 상호관심사를 토론하여 플라즈마 분석 및 Hf의 삼화실험에 대한 연구를 진행하기로 결정하였다.
-방문 연구실의 경우 SWP (surface wave plasma)를
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