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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 염근영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-07 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039550 |
과제고유번호 | 1711026083 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | sputter.PEALD.APC(Advanced Process Control). |
□ 핵심기술
반도체 및 대면적 디스플레이용 무기물 증착 공정을 위한 핵심원천 기술 개발
□ 최종목표
무기물 박막 증착을 위한 고밀도 플라즈마 원천기술, 증착 공정중 플라즈마 변수 모니터링 핵심 원천기술, 10nm급 PEALD 반도체 증착용 고밀도 플라즈마 증착소스 및 공정에 관한 원천기술, 플렉서블 공정에 적용 가능한 선형 고밀도 플라즈마 증착 소스 및 무기물 공정 원천기술 및 극초박막 소재에서 소재의 표면, 박막 및 계면에서의 조성과 결합상태등의 물성특성 제어 원천기술 개발
□ 개발내용 및 결과
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