초록 ▼

1. 정전용량형 very small 탐침 개발
- 당초 목표였던 초소형 탐침 개발
- 건식 식각을 이용하여 원하는 크기와 형태의 탐침을 개발할 수 있는 기술 확보
2. 고유전 박막 기술 개발
-새로운 전구체를 이용한ALD Hf$O_2$ 공정 기술 개발
3. PZT island 제작 기술 확보
- XRD, PFM 등의 결과로 PZT island 형성 확인
- island의 크기 및 두께, 조성을 제어할 수 있는 기술 확보
4. 정전용량형 탐침 모델을 제작
- 정전용량

1. 정전용량형 very small 탐침 개발
- 당초 목표였던 초소형 탐침 개발
- 건식 식각을 이용하여 원하는 크기와 형태의 탐침을 개발할 수 있는 기술 확보
2. 고유전 박막 기술 개발
-새로운 전구체를 이용한ALD Hf$O_2$ 공정 기술 개발
3. PZT island 제작 기술 확보
- XRD, PFM 등의 결과로 PZT island 형성 확인
- island의 크기 및 두께, 조성을 제어할 수 있는 기술 확보
4. 정전용량형 탐침 모델을 제작
- 정전용량형 탐침의 유사 모델을 제작하여 실제 작동 가능성 및 문제점 확인
- 정전용량형 탐침이 이웃한 전계로부터 받는 영향을 최소화할 수 있는 아이디어 수립

Abstract

Fabricating nano capacitive prboe sensor, Testing the capacitive probe's action and confirming the possibility of application as a data storage

목차 Contents

• 제 1 장 연구개발과제의 개요...9
• 제1절 배경 및 필요성 ...9
• 1. 기술적 측면 ...9
• 2. 경제$\cdot$산업적 측면 ...9
• 3. 사회문화적 측면 ...10
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황...11
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...12
• 제1절 최종 목표...12
• 제2절 세부 연구 목표의 연구 수행 방법과 내용 ...12
• 1. 정전용량형 very small tip 제작...12
• 2. 탐침의 정전용량 확보...15
• 3. Nano dot array 강유전체 기록매체 제조...18
• 4. 신개념의 정전 용량형 tip 제조 ...19
• 제3절 연구 결과...25
• 1. 정전용량형 very small tip 제작...25
• 2. Tip 정전용량 확보 ...35
• 3. Nano-dot array 강유전체 기록 매체 제조 ...47
• 4. 신개념의 정전 용량형 tip 제조...59
• 제4절 연구성과 ...66
• 1. 총괄표 ...66
• 2. 정량적 연구성과...67
• 3. 정성적 연구성과(대표적 성공사례)...70
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...71
• 제1절 연구개발목표의 달성도 및 자체평가...71
• 1. 연구개발목표의 달성도 및 자체평가...71
• 2. 기술수준 비교 ...72
• 제2절 관련분야에의 기여도 ...72
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ...73
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...74
• 제 7 장 참고문헌 ...75