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XYθ Stage 및 위치/인압 제어기술개발
Development of XYθ Stage and Position/Printing pressure Control System 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 최병오
참여연구자 김광영 , 류병순 , 김동수 , 윤소남 , 함영복 , 유찬수 , 조정대 , 임규진 , 김정근 , 유진산
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-09
과제시작연도 2002
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200900072987
과제고유번호 1350007323
사업명 특정연구개발사업
DB 구축일자 2015-01-08
키워드 미세패턴.인쇄압력.XYθ 스테이지.마스크장력.위치 정렬 시스템.fine pattern.printing pressure.XYθ stage.Mask tension.position control system.

초록

1. 3자유도(X,Y,θ) Stage 위치 정렬 시스템개발
1.1 3자유도(X,Y,θ) Stage 설계기술
-위치정밀도:$\pm$5$\textmu$m
1.2 정밀위치 제어시스템 설계기술
-위치 제어기 설계 및 제작, Stepping Motor Controller 제작
1.3 CCD 위치보정장치 설계기술
-CCD위치보정장치 설계및 제작,CCD Camera Inteface 기술개발
-고정도 영상데이터 인식 및 분석알고리즘 설계
-CCD Camerad와 X

Abstract

Fine pattern printing technology is being widely used for PDP,LCD,EL,semi conductors, and other electrical devices. Although Domestic companies such as Samsung Elec. and LG Elec. are also trying to introduce fine pattern printing technology, competitiveness of Korea is still being at low level, due

목차 Contents

  • 제 1 장 연구개발과제의 개요...12
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황...14
  • 제 3 장 연구개발 수행 내용 및 결과...16
  • 제 1 절 XYθ 스테이지(Stage) 설계 및 제작...16
  • 1. XYθ 스테이지 이송시스템 해석...17
  • 2. XYθ 스테이지 설계 및 제작...24
  • 제 2 절 정밀 위치제어 시스템 설계 및 제작...28
  • 1. 고정도 위치제어 시스템 구성...28
  • 2. 3축 스테이지 구동회로 설계 및 제작...32
  • 3. 위치 제어시스템의 소프트웨어 설계 및 구현...37
  • 제 3 절 수퀴지 인압 특성분석...47
  • 1. 스퀴지 이송특성분석...47
  • 2. Mask장력, Clearance, 인압관계 특성분석...51
  • 3. 스퀴지 자동 인압 측정 실험 장치 설계 및 제작...53
  • 제 4 절 측정실험 및 결과...58
  • 1. 미세변위 제어 실험...58
  • 2. 스퀴지 인압 측정 실험...61
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...65
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...67
  • 제 6 장 참고문헌...68

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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