초록 ▼

○ 이론적으로 구동 Motor에 걸리는 총 Torque를 계산한 결과 MITSUBISHI (model 102(b)/3000)의 Servo Motor를 사용하여 가공시에는 23 kgf ? cm, 가속시에는 10.75 kgf ? cm로 각각 나타났다.
○ 본 기술개발과제에서 제작한 다공 드릴 머신은 가공핀을 잡고 움직일 수 있는 가공 혼 부위를 φ160이상으로 제작하였으며, 가공핀이 813EA 까지 장착할 수 있어 최대 드릴 능력은 813EA 정도이다. 이송축의 최소 제어 속도는 0.002mm/min정도로 제어 가능하며, 제어

○ 이론적으로 구동 Motor에 걸리는 총 Torque를 계산한 결과 MITSUBISHI (model 102(b)/3000)의 Servo Motor를 사용하여 가공시에는 23 kgf ? cm, 가속시에는 10.75 kgf ? cm로 각각 나타났다.
○ 본 기술개발과제에서 제작한 다공 드릴 머신은 가공핀을 잡고 움직일 수 있는 가공 혼 부위를 φ160이상으로 제작하였으며, 가공핀이 813EA 까지 장착할 수 있어 최대 드릴 능력은 813EA 정도이다. 이송축의 최소 제어 속도는 0.002mm/min정도로 제어 가능하며, 제어 속도 0.05mm/min으로 가공하면 8mm 두께의 경질 Si 기판을 11.5시간정도에 뚫을 수 있어 드릴 작업속도는 약 12 sec/EA 정도이다.
○ 개발된 초음파 미세 다공 드릴 머신으로 Si기판에 구멍을 뚫는 제품의 표면 및 단면을 관찰한 결과, 초기 제품은 일부분은 구멍이 뚫려 있고, 다른 부분은 가공중 모재가 빠지지 않고 남아 있는 부분 및 가공이 진행되고 있는 부분 등이 관찰되고 있다. 단면 관찰에서도 구멍이 뚫린 부분, 가공이 진행되는 부분, 가공 끝부위가 깨진 부분 등이 관찰되었다. 개발된 장비의 동작은 제대로 이루어졌으나, 813개의 핀으로 동시에 구멍을 뚫었음에도 불구하고 표면 및 단면관찰에서 다양한 양상이 나타나고 있어 가하는 압력, 지립 및 파우더의 첨가량, 이송속도 등의 가공 조건의 설정이 중요함을 알 수 있었다.
○ DLC 코팅된 가공핀으로 Si 기판에 구멍을 뚫었을 경우에는 가공핀의 높은 경도 때문에 가공핀과 Si기판이 닿기 시작하는 부분과 구멍이 뚫리는 마지막 부분에 Si기판이 깨지는 현상이 발생하여 DLC 코팅된 핀으로 작업할 때에는 가공조건을 변화시켜 작업을 해야 하며, DLC 코팅을 실시함으로써 가공 후 홀의 표면 거칠기는 더 좋아짐을 알 수 있었다.

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...3
• 보고서 초록...4
• 목차...6
• 제1장 서론 ...7
• 제1절 기술개발의 개요...7
• 제2절 개발제품의 특성 및 구성도...10
• 제2장 기술개발 내용 및 방법...12
• 제1절 주요사양 및 기계 외형도 ...12
• 제2절 미세다공드릴링머신설계 및 주요 FRAME, 공구계 해석...14
• 제3절 패턴 제작 ...37
• 제4절 초음파 다공 드릴 머신 제작...39
• 제5절 DLC 코팅 ...44
• 제6절 물성 측정 ...48
• 제3장 결과...59
• 제1절 결 론 ...59
• 제2절 판 정 ...60
• 부록...61
• 초음파 드릴링 머신 주요구상도 ...61