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NTIS 바로가기주관연구기관 | 단국대학교 DanKook University |
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연구책임자 | 허경무 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-04 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201000010636 |
과제고유번호 | 1425046139 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
반도체 웨이퍼를 제작한 후, 전기적 특성을 평가하기 위하여 프로브 스테이션을 사용하게 되며, 이 때 쓰이는 탐침의 배열을 가진 부품을 프로브 카드(Probe Card)라고 한다. 마이크로 머신을 사용한 프로브 카드(Probe Card)의 제작은 설계의 복잡성, 미세한 탐침의 제작 등 어려운 작업 과정을 거쳐서 만들어 진다. 특히 최근에는 반도체의 성능 향상과 함께 반도체 웨이퍼 검사 공정에 사용되는 프로브 카드(Probe Card)도 다핀화, 소피치화의 일로를 걷고 있다. 이러한 프로브 카드(Probe Card) 제작의 핵심 부품이
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