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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)씨앤지하이테크 |
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연구책임자 | 홍사문 |
참여연구자 | 박종학 , 김문우 , 김동태 , 김영석 , 곽형주 , 정보혁 , 노기창 , 서영철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-05 |
과제시작연도 | 2003 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000015561 |
과제고유번호 | 1420004142 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 정밀유량제어.연마제.Pumpless Controller.Flow Sensor.Slurry Controller.Slurry. |
제1장 : 기술개발목표
반도체 CMP 공정의 Slurry 공급의 심각한 문제점들을 해결하고, Closed-Loop방식을 이용한 Slurry 정유량 제어시스탱의 개발목표.
제2장 : 기술개발의 목적 및 중요성
- 정유량 제어의 실연으로 생산원가 절강, 가동률 향상, 효율적 설비 관리, 과학적 문제점 분석기능.
- 해외제품의 국산화 대체 외화절감 및 해외시장 진출의 기회마련
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