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연합인증

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반도체 슬러리 초정밀 제어장치 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)씨앤지하이테크
연구책임자 홍사문
참여연구자 박종학 , 김문우 , 김동태 , 김영석 , 곽형주 , 정보혁 , 노기창 , 서영철
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2004-05
과제시작연도 2003
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201000015561
과제고유번호 1420004142
사업명 중소기업기술혁신개발
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 정밀유량제어.연마제.Pumpless Controller.Flow Sensor.Slurry Controller.Slurry.

초록

제1장 : 기술개발목표
반도체 CMP 공정의 Slurry 공급의 심각한 문제점들을 해결하고, Closed-Loop방식을 이용한 Slurry 정유량 제어시스탱의 개발목표.
제2장 : 기술개발의 목적 및 중요성
- 정유량 제어의 실연으로 생산원가 절강, 가동률 향상, 효율적 설비 관리, 과학적 문제점 분석기능.
- 해외제품의 국산화 대체 외화절감 및 해외시장 진출의 기회마련

목차 Contents

  • 표지 ...1
  • 중소기업 기술혁신 개발사업 최종보고서 ...2
  • 제출문 ...3
  • 요약서 (초록) ...4
  • 목차 ...6
  • 제1장 : 기술 개발의 목표 ...7
  • 제2장 : 기술개발의 목적 및 중요성 ...8
  • 제1절 : 개발의 목적 ...8
  • 제2절 : 개발의 중요성 ...8
  • 제3장 : 기술 개발의 내용 및 범위 ...9
  • 제1절 : 기술개발의 내용 ...9
  • 제2절 : 개발의 범위 ...11
  • 제4장 : 기술개발 결과 ...12
  • 제5장 : 기대효과 ...13
  • 제1절 : 당사측면(C&G Hi Tech) ...13
  • 제2절 : Customer ...13
  • 제3절 : 국가적 차원 ...13
  • 제4절 : 수출 차원 ...13
  • 제6장 : Manual ...14
  • 제1절 : 제품 소개 (Introduction) ...16
  • 제2절 : 사양 (Specification) ...18
  • 제3절 : 설치 (Installation) ...20
  • 제4절 : 동작 (Operation) ...26
  • 제5절 : Error Message발생 시 조치 방법 (Maintenance) ...37
  • 제6절 : 단자표 ...38
  • 제7절 : 결선도 ...39
  • 제8절 : CPU Main Board Descriptions ...40
  • 제9절 : NT 6500 Connector Pinouts ...41

참고문헌 (25)

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