Abstract ▼

A. Final Goal
Establishment of the fusion technology research center to co-use of the research equipment and co-development of the core and basic technology of the IT fusion technologies
B. Scope
Module laboratory set-up and facility improvement
- Existing equipment up-grade and new equi

A. Final Goal
Establishment of the fusion technology research center to co-use of the research equipment and co-development of the core and basic technology of the IT fusion technologies
B. Scope
Module laboratory set-up and facility improvement
- Existing equipment up-grade and new equipment set-up
- Development of fusion core and basic technology and IP DB set-up
- Operation of IT fusion technology community
C. Contents
- Module laboratory set-up and facility improvement
. Nano device module laboratory set-up and facility improvement
. Bio device module laboratory set-up and facility improvement
. Fusion IC module laboratory set-up and facility improvement
. Litho module laboratory set-up and facility improvement
- Existing equipment up-grade and new equipment set-up
. Existing equipment up-grade
. New equipment set-up
- Development of fusion core and basic technology and Co use of the research equipments
. Development of fusion core and basic technology and IP DB
set-up
. Co-use of the research equipments
- IP DB set-up of IT fusion technology
. Information collection and IP DB establishment related to the fusion new technologies in domestic and foreign countries
. Exchanging the Domestics and foreign technologies and co-research

목차 Contents

• 표지 ...1
• 인사말씀 ...3
• 제출문 ...4
• 요약문 ...5
• SUMMARY ...10
• CONTENTS ...16
• TABLES ...18
• FIGURES ...19
• 목차 ...23
• 표목차 ...26
• 그림목차 ...27
• 제1장 서론 ...32
• 제1절 연구의 목적 ...33
• 제2절 연구의 중요성 ...35
• 제3절 연구의 개발 방향 또는 추진체계 ...39
• 제2장 융합기술 동향 ...41
• 제1절 융합기술연구동향 ...42
• 1. 세계 기술 현황 ...42
• 2. 국내 개술 현황 ...44
• 3. 국내외 기술 발전 추세 ...45
• 제2절 융합기술 시장전망 ...46
• 1. 세계 시장 전망 ...46
• 2. 국내 시장 전망 ...47
• 제3장 연구 결과 ...49
• 제1절 IT 융합기술 연구센터 실험실 개선 ...50
• 1. 청정 환경 조성 개요 ...50
• 2. 융합기술 특화연구센터 청정실험실 조성 장기계획 ...50
• 3. 나노소자 모듈 실험실 설계 ...52
• 4. IT-BT 및 IT 융합 모듈 실험실 시설 보완 ...56
• 5. 나노장비용 특수가스 설치공사 ...58
• 6. 나노 연구장비 전기 설치공사 ...64
• 제2절 기존장비 개선 ...65
• 1. 불순물 이온주입기(Ion implanter) 가스 공급장치 개선 ...65
• 가. 개조목적 ...65
• 나. 성능활용방안 및 기대효과 ...65
• 다. 설계 및 개조 ...67
• 2. 유기물 기상증착장치의 고온용 가스 line system 성능 개선 ...69
• 가. 개조목적 ...69
• 나. 성능 활용방안 및 기대효과 ...69
• 다. 설계 및 개조 ...70
• 제3절 신규 나노소자용 공정장비 도입/설치 ...72
• 1. 신규장비 도입방안 및 절차 ...72
• 2. HDP Etcher 도입 및 설치 ...84
• 가. 기술검토 ...84
• 나. 설치 및 시험검증 ...89
• 3. Metal AL-CVD 도입 및 설치 ...104
• 가. 기술검토 ...104
• 나. 설치 및 시험검증 ...107
• 4. Dielecric AL-CVD 도입 및 설치 ...117
• 가. 기술검토 ...117
• 나. 설치 및 시험검증 ...119
• 5. 이온 밀링기 도입 및 설치 ...127
• 가. 기술검토 ...127
• 제4절 핵심기술 개발 및 IP DB 구축 ...134
• 1. SoxFET ...134
• 가. 서론 ...134
• 나. 실험 순서 및 결과 ...135
• 다. 결과 및 논의 ...138
• 라. 결론 ...141
• 2. Cl2/Ar 가스 혼합비에 따른 유도결합 플라즈마 특성 ...143
• 가. 서론 ...143
• 나. 실험방법 ...144
• 다. 결과 및 고찰 ...149
• 라. 결론 ...158
• 3. High-K dielectric 형성 및 분석기술 연구 ...159
• 가. 서론 ...159
• 나. 이론 및 결과 ...160
• 다. 활용 및 기대효과 ...169
• 라. 결론 ...169
• 제4장 결론 ...171
• 부록 ...173