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미세신호증폭센서를 이용한 고집적회로패턴의 단락 검사 System 개발
Apparatus for testing circuit pattern with signal amplification sensor and system 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)이노포스
연구책임자 정영환
참여연구자 이용영 , 최유진 , 이상영 , 국성미
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-06
과제시작연도 2008
주관부처 지식경제부
과제관리전문기관 정보통신연구진흥원
Institute for Information Technology Advancement
등록번호 TRKO201000018597
과제고유번호 1415087068
사업명 IT산업경쟁력강화사업
DB 구축일자 2015-01-08

초록

입력 신호 생성 회로를 통해 생성된 AC 주파수의 신호가 Probe Tip과 이송 장치를 통하여 고집적회로필름의 단자부 패턴에 주기적인 신호를 인가시켜 출력 단에서 검출되는 미세 신호를 증폭 하여 검출해내고 이를 분석 S/W를 통해서 패턴의 단락을 검사할 수 있는 시스템을 개발한다.
● 48mm FPCB Film의 단락 유무 검사 가능 및 성능 향상.
● Probe Tip 개발 - Pattern Pitch 100 ~ 200um급 개발 및 성능향상.
● 4열 156mm Multi Probe Sensor 개발.

Abstract

As through the input signal, AC frequency go to Probe Tip and transfer device and send the signal to circuit pattern's terminal's patten and get out the amplify signal from out point. We develop the testing system of short from S/W analysis.
A. Testing of short existence or nonexistence and perfo

목차 Contents

  • 표지...1
  • 제 출 문...2
  • 요 약 문...3
  • SUMMARY...6
  • 목 차...10
  • 제 1 장 개발기술의 개요...11
  • 제 1 절 개발기술의 중요성...11
  • 제 2 절 국내외 관련기술의 현황...20
  • 제 3 절 기술개발 시 예상되는 파급효과 및 활용방안...30
  • 제 4 절 시장현황...37
  • 제 5 절 경쟁업체 현황 및 사업화 계획...38
  • 제 2 장 개발기술의 내용...39
  • 제 1 절 개발기술의 개요 및 내용...39
  • 제 2 절 연구개발비 소요명세...65
  • 제 3 장 개발기술의 항목 및 구현 방법...69
  • 제 1 절 신호 인가용 Probe Tip 개발...69
  • 제 2 절 비접촉식 미세신호증폭 Sensor 개발...76
  • 제 3 절 AC 소스 발생기 및 증폭기 개발...85
  • 제 4 절 Scanning Stage 개발...87
  • 제 5 절 Aligner Stage 개발...90
  • 제 6 절 Blade Punch 개발...94
  • 제 7 절 COF(Chip on Film) Package의 이송 모듈 개발...102
  • 제 8 절 시스템 제어 및 Data Acquisition 프로그램의 개발...119
  • 제 9 절 기타 기구 및 전장 관련 사진...131
  • 제 4 장 개발기술의 실험 및 절차...136
  • 제 1 절 Test 시스템의 절차 및 구성의 개요...136
  • 제 2 절 Test 시스템의 구성...142
  • 제 3 절 측정 결과...147
  • 제 5 장 결론...167
  • 제 1 절 계획대비 실적 및 성과...167
  • 제 2 절 결론...169

참고문헌 (25)

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