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NTIS 바로가기주관연구기관 | 정보통신연구진흥원 Institute for Information Technology Advancement |
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연구책임자 | 구양모 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-07 |
주관부처 | 정보통신부 |
사업 관리 기관 | 정보통신연구진흥원 Institute for Information Technology Advancement |
등록번호 | TRKO201100000835 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
3. 연구의 구성 및 범위
본 연구는 방사광 가속기를 이용한 차세대 반도체 산업을 위한 나노 분석 기반 기술 개발을 목적으로 하여 수행되었으며, nano sized x-ray diffration 기술 정착과 금속배선의 방위 및 strain 분포 연구를 주요 범위로 삼고 있다.
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