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NTIS 바로가기주관연구기관 | 부경대학교 Pukyong National University |
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연구책임자 | 임권택 |
참여연구자 | 이민영 , 박은주 , 우민희 , 정재목 , 배경섭 , 도경민 , 정유선 , 김승호 , 배재현 , 김원수 , H.S. Ganapathy , H. Yuvaraj , M.R. Karim , M.D. Hossain |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-01 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 환경부 |
사업 관리 기관 | 한국환경기술진흥원 |
등록번호 | TRKO201100002953 |
과제고유번호 | 1485006218 |
사업명 | 차세대핵심환경기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 초임계 이산화탄소.계면활성제.건식 에칭.반도체 세정.마이크로 에멀젼.초소형정밀기계.supercritical carbon dioxide.sufactant.dry etching.semiconductor cleaning.microemulsion.MEMS. |
● 초임계 세정 및 건조 시스템 개발
- 압력범위 800 ~ 5000 psi, 온도범위 20 ~ 80 ℃, 공정시간 < 10 min 파티클 제거율 > 99%, 유기물 제거율 > 99%, 패턴붕괴 방지 (PR 폭/space: 90/140, 종횡비:5.5)
- 건조 공정 data 확보
- 경화서 PR 스트리핑 조건 도출
● 초임계 건식 에칭 시스템 개발
- 최적 에칭 반응 및 잔류물 제거 조건 규명
- Oxide 식각속도 ~ 650 nm/min (BPSG) 및 BPSG/SiN(TiN) 선택비 ~ 170
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