초록 ▼

VHF를 사용하여 ${\mu}c$-Si 박막을 증착하기 위해서는 VHF 인가에 따른 Standing wave 효과를 최소화할 수 있는 H/W의 개발이 필요하다. 본 과제에서는 Standing wave의 억제가 가능한 H/W로 위상이 다른 두 개의 주파수를 양쪽에서 인가하여, 두 주파수의 위상차에 의해 박막의 균일도를 보상하는 방법과, VHF를 중심부에 인가하되, Showerhead의 중심과 외각의 hole을 다르게 배치하여 Standing wave를 감소시키는 등 몇 가지 형태의 H/W에 대한 검증을 통하여, 박

VHF를 사용하여 ${\mu}c$-Si 박막을 증착하기 위해서는 VHF 인가에 따른 Standing wave 효과를 최소화할 수 있는 H/W의 개발이 필요하다. 본 과제에서는 Standing wave의 억제가 가능한 H/W로 위상이 다른 두 개의 주파수를 양쪽에서 인가하여, 두 주파수의 위상차에 의해 박막의 균일도를 보상하는 방법과, VHF를 중심부에 인가하되, Showerhead의 중심과 외각의 hole을 다르게 배치하여 Standing wave를 감소시키는 등 몇 가지 형태의 H/W에 대한 검증을 통하여, 박막의 증착속도 및 균일도를 확보할 수 있는 H/W 기술을 개발하고자 한다.

목차 Contents

• 5세대급 다중접합 박막 실리콘 태양전지 제조용 미세결정 실리콘 고속 증착 장비 개발 성과관리 카드...1
• 제출문...15
• (5세대급 다중접합 박막 실리콘 태양전지 제조용 미세결정 실리콘 고속 증착 장비 개발)2차년도 연차보고서 요약...17
• 충청광역경제권 선도산업 육성사업 기술개발 2차년도 연차보고서...20
• 목차...21
• I. 2차년도 과제 수행결과...22
• 1. 사업개요...22
• 1-1. 중요성 및 필요성...22
• 1-2. 최종목표...27
• 1-3. 연차별 목표 및 세부내용...28
• 1-4. 기술개발 제품 세부내용...30
• 2. 사업 추진실적...52
• 2-1. 추진방법 및 일정...52
• 2-2. 사업 목표대비 달성 세부내용...56
• 3. 사업 추진체계...62
• 3-1. 수행기관별 역할분담...62
• 3-2. 총괄책임자 및 참여인력 현황...63
• 4. 사업비 사용실적...67
• 4-1. 총괄...67
• 4-2. 세부내용...67
• 4-3. 시설ㆍ장비, 연구기자재, 재료 구입현황 및 활용실적...67
• ※ (별첨) 기업 재무건전성 현황...68
• II. 3차년도 사업수행 계획...71
• 1. 사업 목표 및 내용...71
• 1-1. 사업개요...71
• 1-2. 3차년도 사업목표...72
• 3. 기술개발 전략 및 내용...73
• 2. 사업 추진방법 및 전략...76
• 2-1. 추진체계...76
• 2-2. 추진일정...77
• 4. 사업화 전략 및 내용...79
• 4-1. 사업화 전략...79
• 4-2. 자체 투자계획...80
• 4. 사업비 사용계획...81
• 4-1. 총괄...81
• 4-2. 세부내역...81
• 4-3. 연구 기자재, 재료, 시설 및 장비 활용계획...93
• 5. 기대효과...95
• 5-1. 시장파급효과 분석...95
• 5-2. 연도별 부가가치증대효과 전망...95
• ※ (별첨) 수행기관 세부현황...96