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NTIS 바로가기주관연구기관 | 영진전문대학 산학협력단 |
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연구책임자 | 배용탁 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100009671 |
과제고유번호 | 1425051937 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
Linear motion unit의 설계기술, 제어기술, 시제품 제작기술과 성능평가 기술을 확립함으로서 LCD, 유기EL, PDP 반도체 청정 제조공정에 적합하고 온도, 습도 등 환경 변화에 대한 내환경성과 초정밀 위치결정 성능을 동시에 확보하는 Gantry linear motion unit를 개발
2. 개발내용 및 결과
Gantry 방식을 적용할 예정으로 Y축 이송은 Y1, Y2축 동시 제어상태에서 이루어지며, Y1, Y2 위에 X-Axis unit을 배치하는 X-Y 구동시스템을 적용
3. 사업
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