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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 이지현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-12 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800022748 |
과제고유번호 | 1711062300 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2018-06-16 |
키워드 | 다중 수동 진동 감쇠 장치.설계 최적화.채터 감소.잔류진동 감소.캔틸레보 구조.Multiple Tuned Mass Damper.Design Optimization.Chatter Suppression.Residual Vibration Reduction.Cantilever Structure. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800022748 |
ㅇ 반도체, 디스플레이 관련 산업, 정밀부품 제조 산업, 광학기계 관련 분야 등에 사용되는 장비의 고정밀화 및 생산성 향상을 위해서는 가동부 이동 또는 절삭력에 의한 진동, 구조물 바닥에서 오는 외부 진동 저감이 필수적이다. Random noise인 구조물 바닥 진동은 vibration isolators 적용을 통해 저감 가능한 반면, 가동부 이동 또는 절삭력에 의한 진동은 장비의 구조적 취약성이나 구동에서의 큰 가감속에 의해 악화되는 경향이 있으며 이에 대한 진동 저감 기술은 주로 제어적인 대책에 한정되어 있다. 하지만 제어적인
Precision machines are used in semi-conductors, optics and display industries where require manufacturing or measuring high precision parts having micrometer-level features/ tolerances finishes. Therefore, they have to minimize vibrations caused by ground, moving axis and cutting force in order to i
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