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반도체 Wafer 가공 및 Glass Sawing용 UV 경화 점착제 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 공주대학교 산학협력단
연구책임자 이종집
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-06
과제시작연도 2009
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 한국산업기술평가관리원 (중기청)
등록번호 TRKO201100010198
과제고유번호 1425059855
사업명 산학연공동기술개발
DB 구축일자 2013-04-18

초록

1. 최종목표
1. 반도체 가공용(Wafer Dicing) UV 경화 아크릴 점착제 개발
2. Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제 개발
2. 개발내용 및 결과
1. 반도체 가공용(Wafer Dicing) UV 경화 아크릴 점착제 개발 [1차년도]
1. 고분자량의 Oligomer(분자량 5~10만) 합성 기술 개발
2. Oligomer에 Functional Group 도입 기술 개발
3. Oligomer에 이중 결합 도입 기술 및 제어 기술 개발
4. Wafer Dicing용

목차 Contents

  • 사업비사용실적보고서...1
  • I. 총괄현황(이종집)...1
  • II. 과제개발비 세부집행내역...1
  • 최종보고요약서[초록]...37
  • 개발결과의견서...40
  • 목 차...41
  • 표 목차...44
  • 그림 (도) 목차...50
  • 제 1 장 서 론...53
  • 제 1 절 기술 개발의 목적 및 중요성...53
  • 제 2 절 기술 개발 목표...55
  • 1. Multi-Functional Oligomer를 사용한 UV 경화 점착제의 개요...55
  • 2. Multi-Functional Oligomer의 개발...56
  • 3. UV 경화 점착제용 아크릴 점착제의 개발...56
  • 4. UV 경화 아크릴 점착제의 제조...56
  • 제 3 절 물성 Test 방법...58
  • 1. 고형분 측정법...58
  • 2. 점도 측정법 (Brookfield사의 DV-E Viscometer를 이용하여 측정)...58
  • 3. Ball Tack의 측정법 (J. Dow법)...59
  • 4. 응집력 Test (Cohesive Test)법...59
  • 5. Peel Strength 측정법...60
  • 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...62
  • 제 1 절 Multi-Functional Oligomer의 합성 및 반응 최적화...62
  • 1. Base Oligomer의 합성...62
  • 2. Multi-Functional Oligomer의 합성...64
  • 가. 촉매의 종류에 따른 Multi-Functional Oligomer의 합성...64
  • 나. 반응 온도 및 촉매의 사용량에 따른 Multi-Functional Oligomer의 합성...66
  • 다. 반응 시간에 따른 Multi-Functional Oligomer의 합성...70
  • 제 2 절 Wafer Dicing용 UV 경화 아크릴 점착제의 개발 [1차년도]...73
  • 1. 2-EHA 및 AA를 사용한 Multi-Functional Oligomer의 합성...73
  • 2. 2-EHA 및 AA를 사용한 Multi-Functional Oligomer에 적용하기 위한 아크릴 점착제 Base의 합성 및 Wafer Dicing용 점착제로서의 물성 평가...79
  • 가. 2-EHA 및 AA를 사용한 아크릴 점착제의 합성 및 Wafer Dicing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...80
  • 나. BA 및 AA를 사용한 아크릴 점착제의 합성 및 Wafer Dicing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...94
  • 다. EA, MA, VAM 및 AA를 사용한 아크릴 점착제의 합성 및 Wafer Dicing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...106
  • 라. Functional Monomer로 N,N-Dmethylacrylamide를 사용한 아크릴 점착제의 합성 및 Wafer Dicing UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...126
  • 3. Wafer Dicing용 UV 경화 아크릴 점착제의 개발 결과...138
  • 제 3 절 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 개발 [2차년도]...142
  • 1. BA를 50% 사용한 Multi-Functional Oligomer의 합성 및 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...142
  • 가. BA를 50% 사용한 Multi-Functional Oligomer의 합성...142
  • 2. (MO-24~32) 및 아크릴 점착제를 이용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...149
  • 가. (MO-24~32) 및 (PSA-5~8)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...149
  • 나. (MO-24~32) 및 (PSA-9~17)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...158
  • 다. (MO-24~32) 및 (PSA-18~20)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...169
  • 3. BA 및 AA를 사용한 Multi-Functional Oligomer의 합성 및 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...179
  • 가. BA 및 AA를 사용한 Multi-Functional Oligomer의 합성...179
  • 4. (MO-33~41) 및 아크릴 점착제를 이용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...186
  • 가. (MO-33~41) 및 (PSA-5~8)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...186
  • 나. (MO-33~41) 및 (PSA-9~17)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...192
  • 다. (MO-33~41) 및 (PSA-18~20)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...213
  • 5. BA를 EA로 15% 치환한 Multi-Functional Oligomer의 합성 및 UV 경화 점착제의 물성 평가...225
  • 가. BA를 EA로 15% 치환한 사용한 Multi-Functional Oligomer의 합성...226
  • 6. (MO-42~50) 및 아크릴 점착제를 이용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...233
  • 가. (MO-42~50) 및 (PSA-5~8)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...233
  • 나. (MO-42~50) 및 (PSA-9~17)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...237
  • 다. (MO-42~50) 및 (PSA-18~20)를 사용한 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가...253
  • 7. Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 개발 결과...262
  • 제 3 장 사업성과...264
  • 제 1 절 기술적 성과...264
  • 제 2 절 경제적 성과...265
  • 제 3 절 기타 성과...265
  • 제 4 장 결 론...267
  • 제 1 절 Wafer Dicing용 UV 경화 아크릴 점착제 개발 결과...267
  • 1. Multi-Functional Oligomer의 합성 및 반응 최적화 결과...267
  • 2. Wafer Dicing용 UV 경화 아크릴 점착제의 개발 결과...268
  • 가. Wafer Dicing용 Multi-Functional Oligomer 및 아크릴 점착제의 합성 결과...268
  • 나. Wafer Dicing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가 결과...270
  • 제 2 절 Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제 개발 결과...275
  • 1. Glass Sawing용 Multi-Functional Oligomer 합성 결과...275
  • 2. Glass Sawing용 UV 경화 아크릴 점착제의 물성 평가 결과...278
  • 제 3 절 향후 계획...286
  • 제품 물성 평가 성적서...288

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