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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 정채환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-06 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100010887 |
과제고유번호 | 1425059781 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
○ 실리콘 태양전지 응용을 위한 다결정 실리콘 박막 고속 증착공정 및 고품질화 기술개발
- 유리기판위 다결정 실리콘 씨앗층 제조공정 개발
(입자크기 : 50㎛, 결정우선배향성 : 100방향, 캐리어농도 : 1020/㎤)
- 태양전지용 다결정 실리콘 흡수층 고속증착 기술 개발 (증착속도: 0.5㎛/min, 캐리어 수명 : 수 ㎲)
- 다결정 실리콘 박막 태양전지 시제품 제작 (최종효율 : 10%이상@3×2㎠)
2. 개발내용 및 결과
- MILC를 통한 다결정 실리콘 씨앗층 제조공정
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