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NTIS 바로가기주관연구기관 | 안동대학교 AnDong National University |
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연구책임자 | 박영배 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2006-12 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100011431 |
과제고유번호 | 1420010809 |
사업명 | 산학연공동기술개발(균특) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
차세대 반도체 및 Display 진공장비에 사용되는 O-ring의 plasma에 의한 damage를 최소화 할 수 있는 고신뢰성 O-ring 소재 선정.
2. 개발내용 및 결과
○ 진공장비용 O-ring의 각 조성별 시편을 제작.
○ 각 조성별 O-ring재질에 따른 미세구조 및 기본 조성 측정.
○ Plasma 전 처리 실험 조건 확립 후, plasma 처리에 따른 각 조성별 O-ring의 표면 미세구조 및 조성 변화 측정.
○ Plasma damage를 최소화 하는 O-ring재질의
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