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NTIS 바로가기주관연구기관 | 을지대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 이명하 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100011829 |
과제고유번호 | 1425052416 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. 최종목표
선폭 7
-램프 조명광학계 조명 균일도 95% 이상 -분해능 선폭 7
-distortion 0.002 % 이하 -telecentricity 0.0001 rad 이하
-align 미세조정기 정밀도 0.5
2. 개발내용 및 결과
- 투영광학계 : maskless 패턴 module로는 셀의 크기가 13.68㎛x13
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