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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 임종연 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-03 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100012712 |
과제고유번호 | 1420006970 |
사업명 | 산학연공동기술개발(균특) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
진공펌프는 대기로부터 격리된 용기 내부 공간의 기체분자들을 적절한 방법으로 제거해 원하는 진공상태를 만드는 장치이다. 건식 진공펌프는 기계적 저진공펌프로서 펌프내부의 기체 배기통로에 일체 기름을 사용하지 않는 펌프의 통칭이다. 최근 가속기나 신재료 개발과 같은 첨단 기술분야에 사용되는 초고진공 시스템에는 점차 건식진공펌프가 채용되고 있다. 반도체 분야에서는 제조공정에서 사용되는 여러 종류의 기체들이 부식성이 강하거나 반응성이 높기 때문에 유회전펌프 기름의 성능이 저하되거나 작동이 불량해 지며 기름 증기가 역류되어 제품의 오염 가능성
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