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반도체용 고진공 SCREW형 진공펌프 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 코웰정밀(주)
연구책임자 이종대
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-05
과제시작연도 2002
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201000015571
과제고유번호 1420018134
사업명 중소기업기술혁신개발
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 진공도.배기성능.도력.소음.반도체 제조용 펌프.2단압축.비접촉 여유최적설계 및 가공.

초록 ▼

개발되어 시판되어지고 있는 단단형의 건식 스크류형 진공펌프는 한국의 KOWEL사, 일본의 TAIKO KIKA사, 독일의 BUSCH사에서 개발되어져 있으며 피치가 등분피치로 되어있어 단단 압축으로 인한 토출부의 고열발생의 단점이 있다. 이러한 단점을 보완하여 개발되어지는 2단압축의 스크류형 진공펌프는 CASING내부에 피치가 다른 2종의 스크류를 조합하여 2단압축하는 형식으로써 기존 스크류형 진공펌프보다 배기성능이 우수하며 2단압축이 이루어지는 압축열을 CASING 외벽의 WATER JACKET을 통하여 일부 냉각됨으로써 압축열을 낮

목차 Contents

  • 표지 ...1
  • 제출문 ...2
  • 요약서(초록) ...3
  • 목차 ...6
  • 제1장 진공펌프 ...7
  • 제1절 진공개요 ...7
  • 제2절 진공펌프의 종류 ...7
  • 제2장 반도체용 고진공 SCREW형 진공펌프 ...8
  • 제1절 구조의 개요 ...8
  • 1. 일반사항 ...8
  • 2. 구조 ...8
  • 2-1. Screw Shaft ...8
  • 2-2. Timing Gear ...8
  • 2-3. Bearing ...9
  • 2-4. Shaft Seal ...9
  • 2-5. OiI Level Gauge ...9
  • 3. 운전 ...10
  • 4. 점검 ...11
  • 5. Purge ...12
  • 5-1. Sealing Purge ...12
  • 5-2. Cleaning Purge ...12
  • 5-3. Pump Steam Flushing ...13
  • 제2절 사업화 전략 ...13
  • 1. 사업한 방안 ...13
  • 2. 기대효과 ...14
  • 3. 적용분야 ...14
  • 제3장 외국사 제품비교 ...15
  • 부록 1. 관련사진 ...16
  • 부록 2. 관련도면 ...27

참고문헌 (25)

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