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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경희대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 유인태 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100012854 |
과제고유번호 | 1425052214 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. 최종목표: Sputtering 방식을 이용한 비전도 박막 조건개발
- 금속박막의 형성시 Isrand 방식으로 박막형성
- 주재료 Sn Target에 대한 합금조성비 기술개발
- 비전도 박막을 위한 가스의 분압비 조건 기술개발
- 전력밀도에 대한 최적조건 기술개발
2. 개발내용 및 결과
1) Sn재료의 조직 및 합금조성비관련 비전도 조건에 만족할 수 있는 원재료합금 개발
2) 캐리어 가스와 반응가스의 종류 및 분압비의 최적의 조건 기술개발
3) 전력밀도의 변화 및 Target과 기판과의
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