초록 ▼

1. 최종목표
“마이크로 DMS 시스템”의 MEMS 공정 개발 및 시스템의 원활한 동작을 위한 고전압 RF 모듈, 증폭부 및 시그널 인터페이스를 개발
2. 개발내용 및 결과
이온 이동도 원리를 통한 이온필터를 제작하여 입력가스를 검출해 내는 센서를 제작하였다. 이온필터를 제작하는데 있어 크기와 비용을 최소화하고 성능의 재현성을 대폭 향상시키기 위해서 반도체 공정기술을 활용하였다. 이 기술을 활용하여 15×15mm이내의 센서를 개발하고 이온필터링 기술을 실현하기 위한 RF고전압 회로를 구현하였다. 특정농도의 가스를 감

1. 최종목표
“마이크로 DMS 시스템”의 MEMS 공정 개발 및 시스템의 원활한 동작을 위한 고전압 RF 모듈, 증폭부 및 시그널 인터페이스를 개발
2. 개발내용 및 결과
이온 이동도 원리를 통한 이온필터를 제작하여 입력가스를 검출해 내는 센서를 제작하였다. 이온필터를 제작하는데 있어 크기와 비용을 최소화하고 성능의 재현성을 대폭 향상시키기 위해서 반도체 공정기술을 활용하였다. 이 기술을 활용하여 15×15mm이내의 센서를 개발하고 이온필터링 기술을 실현하기 위한 RF고전압 회로를 구현하였다. 특정농도의 가스를 감지하는 능력을 확인하였고, 복합시료의 탐지능력도 확인하였다.
3. 사업성과
? 기술적 성과
이온이동도 원리를 이용한 센서개발로 환경오염물질, 마약 및 폭발물 탐지기, 산업유해물질 탐지기 등 민.군.산업계에 넓은 범위에 걸쳐 응용이 가능하고, 반도체 공정기술을 이용하여 제조원가를 크게 낮출 수 있으며 대량생산이 가능하게 된다. 또한 단일 칩 형태로 구현되므로 소형화, 경량화된 제품기술에도 적합하여 다양한 응용제품들을 개발, 생산할 수 있다.
? 경제적 성과
국내 계측기 시장은 계속적으로 성장 하는 추세에 있다. 따라서 현재 환경에 관한 관심이 전 세계적으로 커지는 과정에서 국가적인 관심사로 부각되고 있는 화학가스 센서의 시장 점유율은 매우 높아질 것으로 예상되며, 신기술에 의한 화학가스 탐지시스템의 개발 및 실용화가 이루어질 경우 그 점유율의 급상승이 기대된다.
? 사회적 성과(일자리 창출 등)
이온이동도 센서 개발과 더불어 제작한 RF 고전압 파워서플라이는 표준과학연구원에 납품되어 실제 사용되어 지고 있다. 국내 기술로 개발된 센서가 상용화되어 보급될 경우 각 지역의 공공기관, 연구기관에 사용되어 다양한 응용분야로의 접근이 가능할 것이다.

목차 Contents

• 최종보고서제출서...1
• 지식재산권 출원.등록비 집행내역...2
• 사업비사용실적보고서...3
• 개발결과의견서...7
• 최종보고요약서(초록)...8
• 목차...10
• 제 1 장 서론...11
• 제 1 절 기술개발의 개요...11
• 제 2 절 기술개발의 필요성...12
• 제 3 절 관련기술의 현황...14
• 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...20
• 제 1 절 기술개발의 목표...20
• 제 2 절 기술개발의 방법...20
• 제 3 절 기술개발의 내용...26
• 제 3 장 사업성과...56
• 제 1 절 기술적 성과...56
• 제 2 절 경제적 성과...56
• 제 3 절 기타 성과...56
• 제 4 장 결론...57
• 제 1 절 시장 현황...57
• 제 2 절 사업화 전망...57
• 제 3 절 향후 계획...58