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NTIS 바로가기주관연구기관 | 을지대학교 |
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연구책임자 | 이동희 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100014569 |
과제고유번호 | 1425065132 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
MEMS용 다중초점 레이저 절단 광학장비 개발
■ MEMS용 다중초점 광학계 설계/제작
(2개의 빔 패스를 갖는 다중 초점 광학계 모듈 설계/제작.)
■ 초점거리 이동량 10?m 이하의 분해능을 갖는 defocusing 광학모듈 설계 제작.
■ 10㎛ 이하의 spot을 갖는 dicing 레이저 빔의 집속광학계 개발.
■ 2개 이상의 다중초점 공정 기술 개발 (스캔속도 : >300mm/s)
■ 테스트 시스템 시제품 장비 개발
2. 개발내용 및 결과
- 2개의 빔 패스를 갖
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