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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 권대갑 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-06 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100015421 |
과제고유번호 | 1425065483 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
LCD 또는 반도체 제조 공정에 초정밀 위치 결정 시스템으로 이용되는 H 타입 스테이지의 정밀도 향상을 위해 유연 힌지 기구를 이용하여 회전 모션 자유도를 갖는 스테이지를 설계, 조립 및 제작, 오차보정을 위한 초정밀 제어기 개발을 목적으로 함. 고정밀 스테이지 설계를 위해서 본 과제에서는 고강성 스테이지 설계, 고정밀 회전 회전 허용 유연 힌지 기구 모델링 및 최적 설계 기술을 개발함. 스테이지 조립 및 기구 오차 보상을 위해 H 타입 스테이지의 위치 오차 모델링 및 보상 제어기 설계를 목표로 함. 제작된 H
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