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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)엠엠티 |
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연구책임자 | 이재정 |
참여연구자 | 서동직 , 최치곤 , 박용민 , 장광염 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-07 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201200005893 |
과제고유번호 | 1425051001 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 고진공.대면적.대변위.초정밀.나노.스테이지. |
국내 시장에서 나노 스테이지는 년간 300억 이상의 수요가 예상되며, 진공용 대변위 나노 스테이지 상용화를 통한 상품 개발 시 년간 100억원 이상의 수입대체 효과 기대.
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