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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)복숭아밸브 |
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연구책임자 | 오승준 |
참여연구자 | 안배근 , 고인수 , 김정욱 , 이광렬 , 박세준 , 이진우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-04 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201200001224 |
과제고유번호 | 1410045131 |
사업명 | 국제공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 다이아몬드상 카본.플라즈마 CVD.원자구조.잔류응력.라만분광.Shaft Bush,RBS,TMS,Hexane. |
1. 최종목표
Plasma CVD 기술을 이용하여 고성능 shaft bush의 내마모성 및 윤활특성 증진을 위한 DLC 코팅기술을 개발하여 DLC coating shaft bush를 생산한다.
2. 개발내용 및 결과
주관기관이 보유하고 있는 독일 IKOS GmbH 사의 RF PACVD 장비를 이용하여 합성필름의 물성과 구조를 최적화 하고, 접착력 증진을 위한 공정 기술을 개발하였다. 필름의 접착력 증진을 위해서 shaft bush의 세척기술과 전처리 기술을 개발하고 Si계 buffer layer의 합성기술을 개발하였
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