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Kafe 바로가기주관연구기관 | 나노소자 유전막 연구단 |
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연구책임자 | 김형준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-02 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201200002289 |
과제고유번호 | 1345123960 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 반도체,트랜지스터,커패시터,저유전막,고유전막,유동절연막,원자층증착,표면처리,기공실링Semiconductor,Transistor,Capacitor,Low-k dielectrics,High-k dielectrics,Flowable oxide,Atomic layer deposition,Surface treatment,Pore sealing |
(1) 고유전막 및 원자층증착법: 1단계(3년) 동안 La2O3 및 LaAlO3 박막 증착에 가장합한 원료물질 결정 및 EOT 0.8nm 이하의 Gate-Ox 공정 및 신뢰성 확보. 온도펄스 및 공간분할 방식의 원자층증착 장치 개발 및 EOT 20% 감소 공정 확보. 2단계(2년) 동안 초고유전율 박막 개발 및 삼차원 구조 적용 결과 확보. 신개념 원자층증착법에 대한 원리연구. (2) 저유전막: 1단계 동안 유전율 2.2 이하, 탄성계수 7GPa 이상의 초저유전막 증착 및 표면 기공 실링 방법 개발을 통한 저유전막 단위공정 확립.
(1) 고유전막 및 원자층증착법: 1단계(3년) 동안 La2O3 및 LaAlO3 박막 증착에 가장합한 원료물질 결정 및 EOT 0.8nm 이하의 Gate-Ox 공정 및 신뢰성 확보. 온도펄스 및 공간분할 방식의 원자층증착 장치 개발 및 EOT 20% 감소 공정 확보. 2단계(2년) 동안 초고유전율 박막 개발 및 삼차원 구조 적용 결과 확보. 신개념 원자층증착법에 대한 원리연구. (2) 저유전막: 1단계 동안 유전율 2.2 이하, 탄성계수 7GPa 이상의 초저유전막 증착 및 표면 기공 실링 방법 개발을 통한 저유전막 단위공정 확립. 2단계 동안 초저유전막의 신뢰성 평가. (3) 유동절연막: 1단계 동안 유동성 공정을 위한 전구체 및 표면처리가 결정될 것이며, 종횡비 8.6:1의 40nm 트랜치를 100% 채우는 Gap-filling 기술 확보. 2단계 동안 실제 소자에 적용 가능한 전기적 특성 확보.-구fi체llin g및 기표술면 처확리보가. 2 단결계정 동안 실제 소자에 적용 가능한 전기적 특성 확보.
(1) High-k and ALD: Determination of suitable precursors for deposition of La2O3 and LaAlO3 films, confirmation on reliability of the gate oxide. Development of 20%-reduced EOT process using TP- and SD- ALD systems, and its adaptation in 3D structure. (2) Low-k: k-value<2.2, elastic modulus>7GPa, an
(1) High-k and ALD: Determination of suitable precursors for deposition of La2O3 and LaAlO3 films, confirmation on reliability of the gate oxide. Development of 20%-reduced EOT process using TP- and SD- ALD systems, and its adaptation in 3D structure. (2) Low-k: k-value<2.2, elastic modulus>7GPa, and the development of the pore sealing process. (3) Flowable oxide: Determination of suitable precursors and surface treatments for flowable oxide processes, gap-filling properties of 100% in 40nm trenches.
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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