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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전자부품연구원 Korean Electronics Technology Institute |
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연구책임자 | 박준식 |
참여연구자 | 신규식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-06 |
주관부처 | 정보통신부 |
사업 관리 기관 | 산업자원부 Korea Institute for Industrial Economics and Trade |
등록번호 | TRKO201200005147 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
O MEMS 소자용 웨이퍼의 시장 예측 및 관련 최신 기술 자료 지원
O MEMS 기본 공정에 대한 기술 교육 지원 : Si rnicrornachining 기술
- Si식각 jig를 이용한 KOH 또는 TMAH용액에서의 초정밀 가공된 Si wafer에 대한 몸체 식각 공정을 교육 지원하고, 실습을 통해 숙지할 수 있도록 지원함.
- 제작된 diaphragm 두께 ≤ 50㎛
O MEMS 소자 제작 및 환용 분야 대한 기술 자료 지원
O MEMS 소자 제작을 위한 초정밀 표면 가공 (CMP공정 등)기술 자료
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