$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

초박형의 반도체 및 PCB기판 Dicing용 초고속 하이브리드 레이저 공정장비 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주) 한빛나노바이오테크
연구책임자 김형원
참여연구자 홍성협 , 임영대 , 민현홍 , 국윤상 , 홍용철
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-07
과제시작연도 2008
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 중소기업기술정보진흥원
등록번호 TRKO201200005818
과제고유번호 1425050976
사업명 중소기업상용화기술개발
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 반도체.웨이퍼.레이저.미세가공.전자기판.하이브리드.Dicing.

초록

최근 IC 양산 분야에서 메모리 사이즈의 증가 및 모바일 전자기기의 두께 감소에 대응하기 위하여 절대적으로 필요한 박형 실리콘웨이퍼 및 사파이어등 첨단소재에 대한 생산성이 충분히 확보된 초미세공정과 선택과 안전성 유의성이 검증된 나노바이오 분야의 신생혈관의 초미세 수술기법 등 생물 및 의료분야에서의 응용이 확대될 것 이라 기대된다.

목차 Contents

  • 표 지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 요 약 서(초 록) ... 3
  • 목 차 ... 4
  • 제 1 장 서론 ... 5
  • 제 1 절 개발대상 기술(또는 제품)의 중요성(필요성) ... 5
  • 제 2 절 국내외 관련기술의 현황(시장규모 포함) ... 6
  • 제 2 장 본론 ... 9
  • 제 1 절 기술개발 목표 및 세부내용 ... 9
  • 제 2 절 이전 기술 개발 내용 ... 10
  • 제 3 절 이전기술 개발 장비의 구성 ... 16
  • 제 4 절 개발 장비 하드웨어 구성 ... 18
  • 제 5 절 운영 소프트웨어 구성 ... 28
  • 제 6 절 웨이퍼 가공 결과물 ... 32
  • 제 7 절 시험 성적서 ... 35
  • 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 37
  • 제 1 절 개발 장비의 기술 및 활용 ... 37
  • 제 2 절 기술 개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 43

참고문헌 (25)

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로