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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주) 한빛나노바이오테크 |
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연구책임자 | 김형원 |
참여연구자 | 홍성협 , 임영대 , 민현홍 , 국윤상 , 홍용철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-07 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201200005818 |
과제고유번호 | 1425050976 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 반도체.웨이퍼.레이저.미세가공.전자기판.하이브리드.Dicing. |
최근 IC 양산 분야에서 메모리 사이즈의 증가 및 모바일 전자기기의 두께 감소에 대응하기 위하여 절대적으로 필요한 박형 실리콘웨이퍼 및 사파이어등 첨단소재에 대한 생산성이 충분히 확보된 초미세공정과 선택과 안전성 유의성이 검증된 나노바이오 분야의 신생혈관의 초미세 수술기법 등 생물 및 의료분야에서의 응용이 확대될 것 이라 기대된다.
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