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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국계측기기연구조합 |
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연구책임자 | 박기성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-08 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201200006001 |
과제고유번호 | 1425055647 |
사업명 | 기업협동형기술개발 |
DB 구축일자 | 2019-11-16 |
키워드 | 자동압력조절밸브.벨로우즈.솔렌노이드 밸브.화학기상증착.확산로.태양전지. |
반도체 제조장치 산업은 차세대 반도체 산업의 경쟁력 강화를 뒷받침하는 중요한 산업이다. 타 산업과 마찬가지로 반도체 산업도 가격 경쟁력이 매우 중요하다. 특히 우리나라 주력품목인 DRAM의 경우는 더욱 심하며, 차세대 반도체 산업의 나노팩토리 나노공정기술을 개발하기 위해서는 차세대 반도체 제조장비의 개발이 매우 중요하다. 반도체 제조장치는 일반적으로 공정에 따라 전공정장비(Wafer Fabrication Equipment)와 후공정장비(Assembly & Test Equipment) 등으로 분류 된다.
이 중 전공정장비는 웨이
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