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나노 기공성 에어로겔의 개발
나노 기공성 실리카 에어로겔 단층 저반사 박막,

나노 기공성 에어로겔의 개발
나노 기공성 실리카 에어로겔 단층 저반사 박막, 와 복합 박막으로 이루어진 2층 저반사 박막, 복합 박막으로 구성되는 3층 저반사 박막 개발
Spin-coater를 이용한 습식법과 sputtering을 이용한 건식법을 적용하여 최적의 박막 코팅 조건 기술 개발. 제조된 박막의 건조 및 열처리 기술 개발.
개발된 저반사 코팅 기술을 시스템에 적용하여 신뢰성 평가 기술을 개발한다.

목차 Contents

• 첨단장비활용 기술개발사업 최종보고서 ... 1
• 표지 ... 2
• 제출문 ... 3
• 과제 요약서(초록) ... 4
• 목차 ... 7
• 제 1 장 서론 ... 9
• 제 1 절 개발대상기술의 중요성 ... 9
• 1. 개발대상기술 ... 9
• 2. 나노기공성 에어로겔 ... 12
• 3. 에어로겔 물성 ... 13
• 4. 나노기공성 에어로겔의 응용분야 ... 16
• 제 2 절 국내외 관련기술 현황 ... 19
• 1. 국내외 관련기술동향 ... 19
• 2. 국내외 특허동향 ... 19
• 제 3 절 시장현황 ... 21
• 1. 국내외 시장규모 및 수출입 현황 ... 21
• 2. 주요 수요처 및 유사제품 현황 ... 22
• 제 4 절 파급효과 및 활용방안 ... 23
• 1. 파급효과 ... 23
• 2. 활용방안 ... 23
• 제 2 장 본론 ... 24
• 제 1 절 기술개발목표 및 세부내용 ... 24
• 1. 개발목표 ... 24
• 2. 세부내용 ... 25
• 제 2 절 세부개발 내용 및 방법 ... 29
• 1. 저반사 및 고투과용 나노 기공성 실리카 에어로겔의 개발 ... 29
• 가. 기공율 향상 개발 ... 29
• 나. 비표면적 개선 ... 36
• 2. 저반사 및 고투과용 실리카 에어로겔 SiO₂, TiO₂ 박막 코팅 기술개발 ... 40
• 가. 평균반사율 개선 ... 40
• 나. 광투과율 개선 ... 50
• 3. 부품적용을 위한 저반사 박막코팅 공정기술 개발 ... 51
• 가. 박막의 균일성 개선 ... 51
• 나. 태양전지용 저반사 고투과 박막 코팅 ... 54
• 4. 시스템 특성 측정을 위한 신뢰성 평가기술개발 ... 56
• 가. 고온시험 ... 56
• 나. 온습도 시험 ... 58
• 다. 열 충격 시험 ... 60
• 제 3 장 결론 ... 62
• 제 1 절 계획대비 실적 ... 62
• 제 2 절 개발성과 ... 63
• 제 3 절 기대효과 ... 63
• 1. 경제적 효과 및 수출 가능성 ... 63
• 부록 1. ... 64
• 1) 기공율 시험성적서 ... 64
• 2) 비표면적 시험성적서 ... 66
• 3) 평균반사율 시험성적서 ... 68
• 4) 광투과율 시험성적서 ... 70
• 5) 박막의 균일성 시험성적서 ... 72
• 6) 고온 시험성적서 ... 75
• 7) 온습도 시험성적서 ... 79
• 8) 열 충격 시험성적서 ... 83
• 부록 2. 특허자료 ... 87