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[국가R&D연구보고서] HB-LED용 사파이어 웨이퍼 CMP 가공을 위한 고효율 콜로이달 실리카 슬러리 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 대구대학교 산학협력단
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2012-06
과제시작연도 2011
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
연구관리전문기관 한국산학연협회
Korea Association of University, Research Institute and Industry
등록번호 TRKO201200008397
과제고유번호 1425068164
사업명 산학연협력기술개발
DB 구축일자 2013-05-20

초록 ▼

1990년도 초반 사파이어(sapphire)를 기판(substrate)으로 하는 청색발광다이오드(blue-light emitting diode, blue-LED)가 개발되어 GaAs와 GaP를 이용한 적색 및 녹색 LED와 함께 빛의 3원색 LED가 완성되었다. 이에 따라 총천연색을 구현할 수 있게 되어 고휘도 LED의 활용분야가 신호등, 전광판, 조명등은 물론이고 디스플레이, 자동차, 가전제품 등 산업 전반으로 확대됨에 따라 시장이 급격하게 팽창하여 세계시장 규모가 2010년도 약 100억 달러에서 2020년에는 약 460억 달러

목차 Contents

  • 『산학연 공동기술개발사업』최종보고서 제출서 ... 1
  • 『산학연 공동기술개발사업』사업비 사용실적 보고서 ... 2
  • 개발결과 의견서 ... 5
  • 최종보고 요약서 ( 초록 ) ... 7
  • 목차 ... 9
  • 제 1 장 서론 ... 10
  • 제 1 절 기술개발의 필요성 ... 10
  • 제 2 절 기술개발의 목표 ... 16
  • 제 2 장 과제개발 내용 및 방법 ... 17
  • 제 1 절 스탠다드 슬러리 테스트 ... 18
  • 제 2 절 실리카 입자의 제조 ... 21
  • 제 3 절 혼합물설계 최적화 ... 24
  • 제 4 절 CMP 슬러리 시제품 개발 및 수요기업 테스트 ... 30
  • 제 3 장 사업성과 ... 36
  • 제 1 절 기술적 성과 ... 36
  • 제 2 절 경제적 성과 ... 36
  • 제 3 절 기타 성과 ... 36
  • 제 4 장 결론 ... 37
  • 부 록 ... 38

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