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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인오켐 |
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연구책임자 | 정인 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-02 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 중소벤처기업부 Ministry of SMEs and Startups |
등록번호 | TRKO201900017061 |
과제고유번호 | 1415157539 |
사업명 | 지역특화산업육성(R&D) |
DB 구축일자 | 2019-11-16 |
키워드 | 세륨옥사이드.디스플레이.연마재.유기발광다이오드.LTPS. |
핵심기술
첨가제 처리를 통하여 Ceria 입형 및 입자크기를 조절하여 분말을 제조 하고, LTPS 박막 연마에 적합한 연마재 Slurry 개발하고자 함
최종목표
연마재 입자 크기 : 80㎚ 이하
연마재 입자 성상 : Granule type
Slurry 농도 : 10% 이상
LTPS 박막 연마 rate : 20㎚/min 이상
LTPS 박막 평탄화 후 Roughness : 10Å 이하
LTPS 박막 평탄화 후 Uniformity : 5% 이하
개발내용 및 결과
- Ce
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